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2007

生长潜力奖

张江高科技园区

2008

工博会立异奖-12英寸65纳米单片晶圆洗濯装备

中国国际工业展览会组委会

2009

发明专利证书

专利号:ZL 2009 1 0050834.2

2010

中国半导体立异产品和手艺

中国半导体行业协会、中国电子质料行业协会、中国电子专用装备工业协会、中国电子报社

年度优异创业者

2011

优异参展产品奖-无应力抛铜

中国半导体行业协会、中国国际商业增进委员会、上海集成电路行业协会

优异创业企业

突出孝顺企业

上海市张江高新手艺工业开发区治理委员会、上海市人力资源和社会包管局、上海市公务员局

2012

优异参展金奖

中国半导体行业协会、中国国际商业增进委员会、上海集成电路行业协会

2013

创业大赛优胜企业

创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会

科学手艺奖二等奖-单片晶圆洗濯装备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

工博会铜奖-兆声波单片洗濯装备

中国国际工业展览会组委会

国家高新区百新企业

中国高新手艺工业导报、中国高新手艺工业开发区协会、中国高新区研究中心

2014

发明专利证书

专利号:ZL 2014 8 0079603.3

2015

发明专利证书

专利号:ZL 2015 8 0080188.8

2016

新制程快速量产

中芯

2015年中国半导体装备十强单位

中国电子专用装备工业协会

谢谢牌

海力士

2017

科学手艺奖三等奖-单片晶圆涂胶装备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

上海市专利事情试点企业

上海市知识产权局

微信年度企业

2016年中国半导体装备行业十强

中国电子专用装备工业协会

2018

2017年中国半导体装备十强单位

中国电子专用装备工业协会

中国半导体立异产品和手艺奖-先进封装电镀装备

中国半导体行业协会、中国电子质料行业协会、中国电子专用装备工业协会、中国电子报社

中国半导体立异产品和手艺奖-TEBO

中国半导体行业协会、中国电子质料行业协会、中国电子专用装备工业协会、中国电子报社

立异奖-兆声波单片洗濯机

集成电路工业手艺立异战略同盟

2019

2018年度优异供应商

华力

2018年中国半导体装备五强企业

中国半导体行业协会

最佳效果奖

SK海力士

2019年卓越影响力上市企业

张江科投企业年度交流会

优异企业

久友基金

华虹集团2019年供应商大会谢谢牌

华虹集团

科技立异奖

中国国际工业展览会组委会

2018年中国半导体装备十强单位

中国电子专用装备工业协会

2018年度上海墟市成电路装备业销售前十名

上海墟市成电路行业协会

2020

2019年度最具潜力供应商

华力半导体

开放立异相助奖

华虹集团

中国半导体立异产品和手艺奖-Tahoe

中国半导体行业协会、中国电子质料行业协会、中国电子专用装备工业协会、中国电子报社

上海墟市成电路先进湿法工艺装备重点实验室

上海市科学手艺委员会

2019年度中国半导体装备五强企业

中国半导体行业协会

2019年度上海集成电路行业装备业前十名

上海墟市成电路行业协会

上海市科学手艺奖一等奖

上海市人民政府

优异立异奖

SMIC、SMNC国产装备评审委员会

谢谢牌

海力士无锡CNC手艺全体成员

2021

上海职工劳动和手艺竞赛二等奖

上海市总工会

2020-2021年度上海设计100+入围作品

上海设计100+组委会

上海墟市成电路装备业销售前十名

行业优异孝顺奖

高新手艺企业证书

上海市科学手艺委员会、上海市财务局、国家税务总局上海市税务局

2022

上海墟市成电路外资企业半导体装备业销售前五名

上海墟市成电路行业协会

效果工业化奖

第五届“IC立异奖”

2023

上海市企业手艺中心

上海市经济和信息化委员会、国家税务总局上海市税务局、上海市财务局、上海海关

进门财经

2022年最佳机构笼罩IR团队

2022年度公益慈善奖

中共浦东新区川沙镇委员会、浦东新区川沙新镇人民政府

TBB上海制造业品牌价值榜/SFEO上海企业品牌生长榜

上海市工业经济团结会、上海市经济整体团结会、上海市商业团结会

2022年度上海墟市成电路内资半导体装备业销售前五名

上海墟市成电路行业协会

专精特新“小巨人”企业

工业和信息化部

临港集团园区领军之星

临港集团

2023电子信息年度十大立异手艺(SAPS)

中国电子商会、数字经济视察网

2024

2023年度企业社会公益奖

上海浦东川沙经济园区有限公司

2023年度浦东新区经济突出孝顺奖

上海市浦东新区人民政府

2023年度上海墟市成电路装备业(内资)销售前五名

上海墟市成电路行业协会

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